‘s Werelds grootste fabrikant van lithografiemachines voor de chipindustrie, ASML, en de TU Eindhoven gaan intensiever samenwerken. Dat moet de komende tien jaar bijna honderd extra promovendi opleveren. Ook draagt ASML bij aan een nieuw te bouwen cleanroomgebouw van de Eindhovense universiteit. In totaal investeert het bedrijf tachtig miljoen euro in de samenwerking met de universiteit.
ASML maakt de machines die de fijnst mogelijke structuren afbeelden op halfgeleidermaterialen, een cruciale stap in het maken van computerchips (lees ook: ‘Onder de motorkap van de nieuwste ASML-machine’). Om steeds maar weer fijnere details te kunnen projecteren, is veel fundamenteel en technologisch onderzoek nodig. Dat doet ASML voor een deel zelf, maar het werkt ook samen met verschillende universiteiten, waar onderzoeksgroepen technische oplossingen verkennen die mogelijk over een aantal jaren in lithografiemachines kunnen worden gebruikt.
De samenwerking met de TU Eindhoven (TU/e) is een logische, omdat het hoofdkantoor van ASML in Veldhoven zich hemelsbreed op nog geen tien kilometer van de campus bevindt. Nu al werken de beide partijen samen op gebieden als plasmafysica, mechatronica, optica en kunstmatige intelligentie (AI). ASML en de TU/e hebben nu afgesproken dat ze die samenwerking intensiveren.
In de komende tien jaar gaan in Eindhoven een kleine honderd promovendi onderzoek doen naar onderwerpen die relevant zijn voor de chipsector. Het mes snijdt hier aan twee kanten: dit onderzoek levert naar verwachting kennis en technologie op die bijdraagt aan oplossingen voor de samenleving; en tegelijk worden de promovendi opgeleid tot de topspecialisten waar de halfgeleiderindustrie om zit te springen. ASML heeft grote moeite genoeg medewerkers met de juiste opleiding te vinden, te meer omdat het bedrijf hard wil groeien de komende jaren.
Grotere Cleanroom
ASML draagt ook financieel bij aan het nieuwe, grotere cleanroomgebouw dat de TU/e gaat bouwen en dat de bestaande cleanroom vervangt. Dit specialistische gebouw wordt een moderne faciliteit van niveau, bedoeld voor het doen van onderzoek en het geven van onderwijs. Ook moet dit gebouw ruimte bieden aan startups op gebied van halfgeleiders. De TU/e zelf gaat naar verwachting rond de honderd miljoen euro investeren in het gebouw en in het opleiden van meer promovendi. Ook bedrijven en onderwijsinstellingen in de regio, vaak Brainport genaamd, worden betrokken om zo de impact van de investeringen te vergroten.
Halfgeleider Hotspot
Met de extra investeringen geeft de TU Eindhoven een extra boost aan een samenwerking die al tientallen jaren bestaat, zegt TU/e-collegevoorzitter Robert-Jan Smits in het persbericht. ‘We gaan de positie van Brainport als Nederlands belangrijkste halfgeleider-hotspot uitbouwen. Voor ons is de overeenkomst extra bijzonder omdat het onze grootste overeenkomst ooit is met een industriële partner.’
IMEC
ASML werkt met veel meer onderzoeksinstellingen samen, in binnen- en buitenland. Zo heeft het samen met het Belgische onderzoekscentrum imec in Veldhoven een speciaal laboratorium ingericht rond de eerste High NA-lithografiemachine. Dat lab wordt binnen een paar weken in gebruik genomen, zei de voormalige chief technology officer van ASML Martin van den Brink dinsdag op ITF World in Antwerpen, een congres waar bedrijven en onderzoekers op het gebied van halfgeleiders van over de hele wereld bij elkaar waren.
De High NA-machine is de nieuwste machine van ASML, die de allerkleinste details kan afbeelden, een volgende stap in de altijddurende miniaturisering die de chipindustrie najaagt. De High NA-machine in Veldhoven is de eerste ter wereld die in elkaar is gezet; ASML heeft een tweede machine verscheept naar Intel in de Verenigde Staten. In het nieuwe lab gaan imec en ASML de processen rond de nieuwe machine testen en inrichten. Ook kunnen andere bedrijven met het paradepaardje komen testen.
Met dank aan De Ingenieur